电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

一种提升重现性之电浆处理装置或电浆处理方法。

主权项

一种电浆处理装置，具备：处理室，配置于真空容器内部，内侧受到减压，供电浆形成；及处理台，配置于该处理室内，供处理对象之晶圆载置于其上；及第1电源，为输出从前述真空容器的上方供给至前述处理室内的电场以便形成前述电浆之第1电源，且于前述晶圆的处理中形成反覆供给高输出和低输出之第1频率的电场；及第2电源，对配置于前述处理台的内部之电极供给第2频率的电力；及控制装置，于前述晶圆的处理中，使前述电场为高输出时的负载阻抗与为低输出时的负载阻抗之间的值，和前述第1电源的阻抗整合。