| 发明名称 |
分离奈米碳管之装置 |
| 摘要 |
明系有关一种用于分离基板(6)上之含碳结构如奈米碳管或石墨烯形式之层的装置，该基板由设于处理室壳体(19)内之基板载具(1)所承载，其中，透过设于处理室壳体(19)内之进气机构(24、25)的出气开口(39)，可朝至少一个基板(6)之方向馈送处理气体。为了实现有利于使用之改良，遂提出以下建议：处理室壳体(19)具有两个相对布置而包含保持槽(34、35、36、37、38)的壁(48、48')，并且，在处理室壳体(19)内设有至少一个板状部件(24、25、26、30、31)，而此等板状部件之两个相背对的边缘段分别插在其中一个壁(48、48')之保持槽(34至38)内。
|
| 申请公布号 |
TW201600632 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104109343 |
申请日期 |
2015.03.24 |
| 申请人 |
爱思强欧洲公司 |
发明人 |
裘弗瑞 亚历山大;里平顿 大卫 艾瑞克;泰奥 肯尼思;鲁帕辛哈 纳林 |
| 分类号 |
C23C16/455(2006.01);C23C16/458(2006.01);C23C16/26(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
赖经臣;宿希成 |
| 主权项 |
一种特别是用于分离基板(6)上之含碳结构如奈米碳管或石墨烯形式之层的装置，该基板系由设于处理室壳体(19)内之基板载具(1)所承载，其中，透过设于该处理室壳体(19)内之进气机构(24、25)的出气开口(39)，可朝至少一个基板(6)之方向馈送处理气体，其特征在于：该处理室壳体(19)具有至少一个包含空腔(28)的壁(48、48')，其中，该空腔(28)系透过馈气开口(40)以连接该进气机构(24、25)之气体容积。
|
| 地址 |
德国 |
