非接触之用于抓取基板之装置

摘要

非接触之用于抓取基板之装置藉此可更安全地运送基板。此装置中，壳体罩具有于上表面之进气口及底部开孔，底部开孔与进气口相通，使得透过进气孔所导入之空气透过该底部开孔离开。底部开孔之轮廓之垂直剖面为凸圆形，使得沿着壳体罩之水平底面得以导引所导入之空气。吸嘴设置于该壳体罩之内部凹陷空间内且具有倾斜表面，使得吸嘴之宽度由吸嘴之底面至相邻于进气口之吸嘴的上表面之方向逐渐减少。吸嘴之底面位在距壳体罩之内表面一预定距离处。超声波震动器施加超声波振动于壳体罩。

主权项

一种非接触之用于抓取基板之装置，其包含： 一壳体罩，其中具 一进气口，透过该进气口导入空气，该进气口形成于该壳体罩之一上表面且与一底部开孔相通，使得导入之空气透过该底部开孔离开、 一底面，该底面围绕该底部开孔形成一水平表面，该底部开孔之一轮廓之垂直剖面为凸圆形，使得沿着该壳体罩之该底面得以导引所导入之空气； 一吸嘴，该吸嘴设置于该壳体罩之一内部凹陷空间内，其中该吸嘴具有一倾斜表面，使得该吸嘴之一宽度由该吸嘴之一底面至该吸嘴之一上表面之方向逐渐减少，该吸嘴之该底面形成于距该壳体罩之一内表面一预定距离处；以及 一超声波震动器，该超声波震动器施加一超声波振动于该壳体罩。