发明名称 电性检测机台
摘要 电性检测机台,包含一机台、一承台、一探针架、一支架、一检测臂、一安置座及复数探针组。该机台具有相平行之二第一导轨;该承台设于该机台上;该探针架设于该机台上,且具有复数个设置区;该支架设于该二第一导轨上,且可相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;该检测臂设于该第二导轨,且位于该承台上方,并可与该支架同步移动及相对该支架移动;该安置座设于该检测臂上,且可相对该检测臂转动或移动;其中一探针组设于该安置座,而其他探针组则分别设于该探针架之设置区;另外,设于该安置座上之探针组可与该安置座同步移动。
申请公布号 TWI515442 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW102146115 申请日期 2013.12.13
申请人 旺矽科技股份有限公司 发明人 顾伟正;吕绍玮;宋宏志;陈俊男
分类号 G01R31/00(2006.01);G01R31/02(2006.01) 主分类号 G01R31/00(2006.01)
代理机构 代理人 廖钲达
主权项 一种电性检测机台,用以对一待测物进行电性检测,且包括:一机台,具有相平行之二第一导轨;一承台,设于该机台上,且用以供该待测物置放者;一探针架,设于该机台上不同该承台设置处的位置上,且具有复数个设置区;一支架,设于该二第一导轨上,且可沿该二第一导轨相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;一检测臂,设于该第二导轨,且位于该承台上方,并可被该支架带动而与该支架同步移动,且可沿该第二导轨相对该支架移动;一安置座,设于该检测臂上,并可被该检测臂带动而与该检测臂同步移动,且可相对该检测臂转动或移动;以及复数个探针组,其中一探针组以可拆装之方式设于该安置座上,而其他探针组则分别以可拆装之方式设于该探针架之设置区上;另外,该设于该安置座上之探针组可被该安置座带动而与该安置座同步移动,且用以供与置放于该承台上之该待测物上之待测部位接抵以进行电性检测;其中各该探针组具有至少二探针,且该二探针间之间距不同于其他该探针组之二探针间之间距。
地址 新竹县竹北市中和街155号1至3楼