光学媒体纪录层用之溅镀靶材

摘要

明提供一种在作为形成光学媒体纪录层用之溅镀靶材而使用时，可使光学媒体的良率提升之溅镀靶材。其系一种光学媒体纪录层用之溅镀靶材，为包含Cu、Si、Cr之溅镀靶材，其特征在于：Cu、Si、Cr分别以单体之金属相存在，且在溅镀靶材中含有氧。

主权项

一种光学媒体纪录层用之溅镀靶材，为包含Cu、Si、Cr之溅镀靶材，其特征在于：Cu、Si、Cr分别以单体之金属相存在，且在溅镀靶材中含有氧。