硏磨垫

摘要

明提供一种具备吸附层之研磨垫，其可形成更高精度的研磨面，且可对应大面积化之研磨面。

主权项

一种研磨垫，其系藉由将含有基材和吸附层之吸附材、与研磨层接合而成者，其中，前述吸附层系包括藉由使选自下列者的至少1种聚矽氧交联而成的组成物：包含仅在两末端具有乙烯基之直链状聚有机矽氧烷之聚矽氧、包含在两末端及侧链具有乙烯基之直链状聚有机矽氧烷之聚矽氧、包含仅在末端具有乙烯基之分支状聚有机矽氧烷之聚矽氧、以及包含在末端及侧链具有乙烯基之分支状聚有机矽氧烷之聚矽氧，前述吸附层之表面粗糙度之平均值Sa系0.02至0.06μm。