用于至少三个工件的双面同时去除材料处理的方法

摘要

明系关于一种用于在双面处理设备的旋转的上工作盘与旋转的下工作盘之间的至少三个工件的双面同时去除材料处理的方法，其中，该等工件以可自由移动的方式位于一在一引导笼中的各开口中，并在压力下藉由引导笼在一在两个工作盘之间形成的工作间隙中移动，其中，在达到该工件的预先选择的目标厚度后，启动一减速过程，在该过程中减低该上工作盘、下工作盘和引导笼的所有驱动器i的角速度ωi(t)，直至两个工作盘与引导笼停止，其中，以如下方式来减低所有驱动器i的角速度ωi(t)：在此情况下，作为时间t的函数的所有角速度ωi(t)的彼此之间的比率与达到预先选择的目标厚度时的比率偏离不大于10%。

主权项

一种用于在双面处理设备的旋转的上工作盘与旋转的下工作盘之间的至少三个工件的双面同时去除材料处理的方法，其中，该等工件以可自由移动的方式位于一在一引导笼中的各开口中，并在压力下藉由引导笼在一位于两个工作盘之间形成的工作间隙中移动，其中，在达到该工件的预先选择的目标厚度后，启动一减速过程，在该过程中减低该上工作盘、下工作盘和引导笼的所有驱动器i的角速度ωi(t)，直至该两个工作盘与该引导笼停止，其中，以如下方式来减低所有驱动器i的角速度ωi(t)：在减速阶段中，作为时间t的函数的所有角速度ωi(t)彼此之间的比率与达到预先选择的目标厚度时的比率偏离不大于10%。