具有个别主动支撑组件的光学成像配置

摘要

明提供一种光学成像配置，其包含一光学投影单元及一控制装置。该光学投影单元包含一支撑结构及一光学元件单元群组，该光学元件单元群组适于在一曝光制程中，使用沿着一曝光光路径的曝光光，将一遮罩单元之一图案之一影像转印于一基板单元之一基板上。该光学元件单元群组包含一第一光学元件单元及复数个第二光学元件单元，该第一光学元件单元及该等第二光学元件单元在该控制装置的控制下由该支撑结构主动支撑。该第一光学元件单元在一较低第一控制频宽下受主动支撑，而该等第二光学元件单元则在一第二控制频宽下受主动支撑，以实质上维持该等第二光学元件之每一者相对于该第一光学元件单元的给定空间关系。

主权项

一种光学成像设备，包含：- 一光学投影单元；及- 一控制装置；- 该光学投影单元包含一支撑结构及一光学元件单元群组，该光学元件单元群组适于在一曝光制程中，使用沿着一曝光光路径的曝光光，将一遮罩单元之一图案之一影像转印于一基板单元之一基板上；- 该光学元件单元群组包含一第一光学元件单元及复数个第二光学元件单元；- 该第一光学元件单元及该等第二光学元件单元在该控制装置之控制下由该支撑结构主动支撑；- 该第一光学元件单元在一较低第一控制频宽下受主动支撑，以提供该第一光学元件单元相对于该光学投影单元之一计量结构的漂移控制；- 该等第二光学元件单元在一第二控制频宽下受主动支撑，以实质上维持该等第二光学元件之每一者相对于该第一光学元件单元之一给定空间关系，该等第二光学元件之每一者相对于形成该光学元件单元群组之惯性参考的该第一光学元件单元而主动地对准。