| 摘要 |
<p>본 발명은 가공된 기판을 크기를 자동으로 측정하면서 동시에 정렬하는 기판 크기측정 및 정렬장치에 관한 것으로서, 측정대상물이 놓여지는 테이블, 상기 테이블에 놓여진 측정대상물을 마주보는 양 측에서 테이블 내측을 향하여 미는 X축 푸셔, 상기 테이블에 놓여진 측정대상물을 상기 X축 푸셔에서 미는 방향과 직교되는 방향으로 양측에서 테이블 내측을 향하여 미는 Y축 푸셔 및 상기 X축 푸셔와 Y축 푸셔가 이동하는 거리를 측정하여 피측정대상물의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 기판 크기측정 및 정렬장치가 개시된다.</p> |
