| 摘要 |
Bei einem Verfahren (100) zum Herstellen eines Bauteilelements wird zumindest eine Zone (11') des Bauteilelements (11) modifiziert, indem die Zone (11') selektiv einer Strahlung ausgesetzt wird (101), um eine Strukturveränderung der Zone (11') zu bewirken, und wird ein Prozesszustand der Zone messtechnisch erfasst, indem die Zone (11') mit modulierter Strahlung bestrahlt und daraufhin von der Zone abgegebene thermische Strahlung (17) phasenempfindlich detektiert wird (104), wobei eine Phasenbeziehung zwischen eingestrahlter modulierter Strahlung und detektierter thermischer Strahlung als Maß für die Strukturveränderung der Zone (11') ermittelt wird (105). |
