| 摘要 |
본 발명은 광 검출 소자 및 제조 방법과 이를 이용한 광 검출 장치에 관한 것으로, 메인 금속 와이어에 p-n 접합 구조를 이루도록 금속 산화물 나노 구조체 및 나노 로드를 형성하고 와인딩 금속 와이어를 감는 형태로 빛을 검출할 수 있도록 함으로써, 와이어 형태를 가질 수 있어 평판형 광 검출 소자와는 달리 다양한 기기에 활용될 수 있으며, 특히, 그 형상을 자유롭게 변형할 수 있어 그 활용 범위를 더욱 확대시킬 수 있고, 종래 기술과 달리 평판형 전극 기판이 존재하지 않아 전극으로 인해 발생하는 p-n 접합 구조에 대한 외부 빛 차단 현상이 최소화되고, 이에 따라 수광 효율이 증가하며, 단순한 열처리 공정을 통해 금속 산화물 나노 구조체를 형성할 수 있어 복잡한 반도체 공정이나 증착 장비 없이도 더욱 편리하고 신속하게 제작할 수 있는 광 검출 소자 및 제조 방법과, 이를 이용한 광 검출 장치를 제공한다. |
