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<p>Eine Siegbahnstufe einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe oder einer Seitenkanalpumpe, umfasst ein Statororgan und ein Rotororgan, die jeweils eine von zwei einander gegenüberliegenden pumpaktiven Flächen aufweisen, wobei zumindest eine dieser pumpaktiven Flächen eine strukturierte Oberfläche umfasst. Dabei sind die einander gegenüberliegenden pumpaktiven Flächen des Statororgans und des Rotororgans nicht planar.</p> |
