| 摘要 |
<p>본 발명은 플렉서블 기판을 롤투롤(Roll to Roll) 방식으로 처리하고 클리닝하는 플렉서블 기판 처리장치 및 이의 클리닝 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 플렉서블 기판 처리장치는 공정가스가 공급되는 챔버, 챔버의 내부에 배치되어 플렉서블 기판을 공급 및 회수하는 기판 공급롤 및 기판 회수롤, 기판 공급롤과 기판 회수롤 사이에 배치되며 챔버 내부에 형성된 플렉서블 기판의 기판 처리영역에 대해 공급 및 회수되는 플렉서블 기판을 가이드하는 가이드 롤러 및 챔버의 외부와 내부로 인출입되며 가이드 롤러와 접촉되어 가이드 롤러를 클리닝하는 클리닝유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 가이드 롤러와 접촉되는 클리닝위치와 챔버 외부에 위치하는 공정위치 사이에서 클리닝유닛을 왕복 이동하여 클리닝위치에서 가이드 롤러를 클리닝할 수 있음으로써, 제품의 신뢰성의 향상과 함께 제조 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.</p> |
