| 摘要 |
Beschrieben wird eine Spiralfeder (4) und ein Verfahren zur Herstellung einer Spiralfeder (4). Die Spiralfeder (4) ist mit einem Spiralfederbefestigungsabschnitt (4.1), einem daran anschließenden Schwingungsbereich (LA) versehen, der mindestens eine Windung (9) besitzt. Der Kern (17) der Spiralfeder (4) ist aus Silizium und mindestens zwei lange Seitenflächen (22) verbinden mindestens zwei zwei kurzen Seitenflächen (24) miteinander. In mindestens einer oberen Seitenflächen (26) und entlang einer Windung (9) des Schwingungsbereichs (LA) ist mindestens eine Vertiefung (18) in einem zweiten Teilbereich (11) in der SiO2-Schicht (20) ausgebildet, deren Tiefe (T) zumindest bis auf den Kern (17) aus Silizium reicht. |
