| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Partikelstrahl-Kraftmessvorrichtung (1) aufweisend eine Messanordnung (9) mit wenigstens einem einseitig innerhalb der Messanordnung (9) gelagerten oder eingespannten Biegebalken (2, 2’, 2’’) mit einem freien Ende; einem Target (5) am freien Ende des Biegebalkens (2, 2’, 2’’), wobei das Target (5) von dem Partikelstrahl einseitig beschossen werden kann, wenigstens zwei Interferometersensoroptiken (71, 72, 73) oder Beleuchtungsfasern (81, 82) zur Lichtleitung für eine wenigstens zweiachsige interferometrische Abstandsmessung, ausgerichtet auf wenigstens zwei Spiegel (61, 62, 63) / Spiegelflächenabschnitte, wobei diese (61, 62, 63) auf dem Biegebalken (2, 2’, 2’’) zwischen dem gelagerten oder eingespannten und dem freien Ende des Biegebalkens (2, 2’, 2’’) fest angeordnet sind und die Normalenvektoren im Bereich der interferometrisch wirksamen Bereiche der Spiegelflächen oder der Spiegelflächenabschnitte orthogonal auf dem Biegebalken (2, 2’, 2’’) und nicht parallel zueinander ausgerichtet sind und einer Mess- und Auswerteeinrichtung zur interferometrischen vektoriellen Kraftmessung durch Messung und Auswertung einer Verbiegung des Biegebalkens (2, 2’, 2’’) anhand der Spiegel / Spiegelflächenabschnitte (61, 62, 63). Ferner betrifft die Erfindung ein Partikelstrahl-Kraftmessverfahren. |
