| 摘要 |
본 발명은, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 사용된 세라믹 부재를 재생하기 위해 산(acid)이나 알칼리로 세정된 세라믹 부재의 표면에 코팅하여 아웃개싱(outgasing)을 방지하기 위한 유리 하드코팅제 조성물을 이용한 세라믹 부재의 재생방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 사용된 세라믹 부재를 안정적으로 신뢰성 있게 재생할 수 있고, 표면이 매끄럽고 표면에 기공 등이 없으며 수분 흡착력이 낮고 표면 경도가 높은 재생 세라믹 부재를 얻을 수 있다. |
