发明名称 Verfahren zum Kapseln von Halbleiterbauelementen und gekapselte Halbleiterbauelemente
摘要 Es werden Verfahren zum Kapseln von Halbleiterbauelementen sowie gekapselte Halbleiterbauelemente offenbart. In einigen Ausführungsformen enthält ein Verfahren zum Kapseln eines Halbleiterbauelements das Koppeln von Durchkontaktierungen mit einem Isoliermaterial, wobei jede der Durchkontaktierungen eine erste Breite hat. Chips sind auch mit dem Isoliermaterial gekoppelt. Ein Abschnitt des Isoliermaterials wird nahe jeder der Durchkontaktierungen entfernt. Der Abschnitt des Isoliermaterials nahe jeder der entfernten Durchkontaktierungen hat eine zweite Breite, wobei die zweite Breite kleiner ist als die erste Breite.
申请公布号 DE102015106616(A1) 申请公布日期 2015.12.31
申请号 DE201510106616 申请日期 2015.04.29
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. 发明人 LIN, JING-CHENG;CHENG, LI-HUI;TSAI, PO-HAO
分类号 H01L21/60;H01L21/48;H01L23/498 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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