发明名称 |
Verfahren zum Kapseln von Halbleiterbauelementen und gekapselte Halbleiterbauelemente |
摘要 |
Es werden Verfahren zum Kapseln von Halbleiterbauelementen sowie gekapselte Halbleiterbauelemente offenbart. In einigen Ausführungsformen enthält ein Verfahren zum Kapseln eines Halbleiterbauelements das Koppeln von Durchkontaktierungen mit einem Isoliermaterial, wobei jede der Durchkontaktierungen eine erste Breite hat. Chips sind auch mit dem Isoliermaterial gekoppelt. Ein Abschnitt des Isoliermaterials wird nahe jeder der Durchkontaktierungen entfernt. Der Abschnitt des Isoliermaterials nahe jeder der entfernten Durchkontaktierungen hat eine zweite Breite, wobei die zweite Breite kleiner ist als die erste Breite. |
申请公布号 |
DE102015106616(A1) |
申请公布日期 |
2015.12.31 |
申请号 |
DE201510106616 |
申请日期 |
2015.04.29 |
申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. |
发明人 |
LIN, JING-CHENG;CHENG, LI-HUI;TSAI, PO-HAO |
分类号 |
H01L21/60;H01L21/48;H01L23/498 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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