| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft Rastersondennmikroskop (400) das aufweist: (a) eine Scan-Einrichtung (420), um eine Messspitze (530, 630, 730, 830, 930, 1030) über eine Oberfläche (415) zu scannen; (b) einen Cantilever (540, 640, 740, 840, 940, 1040) für die Messspitze (530, 630, 730, 830, 930, 1030), wobei der Cantilever (540, 640, 740, 840, 940, 1040) einen Verwindungsbereich (545, 645, 745, 845, 945, 1045) aufweist; (c) wobei der Verwindungsbereich (545, 645, 745, 845, 945, 1045) so ausgebildet ist, dass er sich beim Anlegen eines Steuersignals verwindet und dadurch die Messspitze (530, 630, 730, 830, 930, 1030) verschwenkt; und (d) eine Steuerungseinrichtung (480) zur Ausgabe des Steuersignals, wenn die Messspitze (530, 630, 730, 830, 930, 1030) einen Bereich der Oberfläche (415) scannt, der mit einer verschwenkten Messspitze (530, 630, 730, 830, 930, 1030) genauer untersucht werden kann als ohne ein Verschwenken der Messspitze (530, 630, 730, 830, 930, 1030).</p> |
