| 摘要 |
본 발명에 따른 타겟 구조체(100)에서는, 타겟(102)을 절연성 기판(101)의 중앙영역에 설치하고, 상기 타겟에 전압을 공급하기 위한 제1 도전부재(103a)를, 상기 타겟과 겹치는 영역을 제외하고 상기 타겟에 의해 덮어져 있지 않은 상기 절연성 기판의 주변영역에 설치함으로써, 상기 제1 도전부재는 상기 타겟의 주변부와 접해서 전기적으로 접속된다. 이에 따라서, 불필요한 X선의 방출을 억제하면서, 상기 타겟에서 발생한 열의 확산을 방해하지 않고, 상기 타겟에의 전압공급 라인을 쉽게 형성하는 것이 가능하다. |
