发明名称 SYSTEMS AND METHODS FOR TREATING FLAMMABLE EFFLUENT GASES FROM MANUFACTURING PROCESSES
摘要 가연성 폐기물 가스를 처리하기 위한 시스템이 제공된다. 시스템은 가연성 폐기물 가스를 경감 유닛에 전달하기 위한 배출 도관, 경감 유닛에 연결되어 경감 유닛의 동작 파라미터를 결정하기 위한 제어 시스템, 배출 도관에 연결되어 모니터링 시스템에 응답하여 동작하는 우회 밸브, 및 폐기물 가스보다 더 낮은 가연성을 갖는 혼합 가스를 제공하기 위해 우회 밸브가 우회 모드에서 동작되고 있을 때 경감 유닛으로부터 전환된 폐기물 가스와 혼합되는 제 2 가스의 소스를 포함한다. 본 발명의 방법들 및 많은 다른 양상들이 제공된다.
申请公布号 KR101581673(B1) 申请公布日期 2015.12.31
申请号 KR20107019835 申请日期 2009.02.04
申请人 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 发明人 클락, 다니엘, 오.;모아렘, 메흐란;바뮤렌, 로버트, 엠.;챈들러, 필
分类号 B01D53/30;B01D53/34 主分类号 B01D53/30
代理机构 代理人
主权项
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