| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 어라이너는 제1 몸체; 상기 제1 몸체 하부에 형성되는 이송부; 상기 제1 몸체 상부에 설치되는 회전부; 상기 회전부에 설치되는 제2 몸체; 상기 제2 몸체에 형성되는 기판접촉부를 포함하여 이루어지되, 상기 제1 몸체는 상기 이송부에 의해 전후방향으로 움직이며, 상기 제2 몸체는 상기 회전부에 의해 회전가능한 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 어라이너는, 상기 회전부에 의해 상기 제2 몸체를 좌우 방향으로 회전시킴으로써, 다양한 크기의 기판을 하나의 장비로 얼라인(즉, 위치보정) 할 수 있는 이점이 있다. 또한, 챔버 내부에서 상기 제1 몸체가 전후방향으로 이동하는 거리를 줄임으로써, 작은공간의 챔버 내에서 얼리인을 수행할 수 있는 이점이 있다.</p> |
