搬送装置

摘要

本发明提供一种搬送装置，该搬送装置具有：保持单元，其保持被加工物；移动单元，其使保持单元在临时放置工作台与卡盘工作台之间移动并在垂直方向上移动；以及支撑部，其从移动单元的端部下垂而支撑保持单元。保持单元包括：圆盘状支撑部件，其固定于支撑部；以及环状按压垫，其配设在圆盘状支撑部件的外周部下表面，环状按压垫具有：按压部，其由弹性部件形成为环状，按压被加工物的外周区域；以及锥状的下垂部，其由弹性部件形成为环状，配设在按压部的外周侧面，从按压部朝向下方延伸，随着朝向下方而朝向径向外侧扩展并且厚度变薄。

主权项

一种搬送装置，其将被加工物从临时放置板状的被加工物的临时放置工作台搬送到具有保持面的卡盘工作台，即使针对外周部比中央附近向上方翘曲的被加工物，也能够利用卡盘工作台进行吸引保持，所述搬送装置的特征在于，其具有：保持单元，其保持被加工物；移动单元，其使该保持单元在该临时放置工作台与该卡盘工作台之间移动并且还在垂直方向上移动；以及支撑部，其从该移动单元的端部下垂并支撑该保持单元，该保持单元包括：圆盘状支撑部件，其固定于所述支撑部；杆部件，其一端贯通该圆盘状支撑部件的中心部分并能够移动地插入在该支撑部的末端；吸附垫，其固定于该杆部件的另一端，并具有吸附面；螺旋弹簧，其安装在该吸附垫与该圆盘状支撑部件之间，对吸附垫向下方施力；以及环状按压垫，其配设在该圆盘状支撑部件的外周部下表面，该环状按压垫具有：按压部，其由弹性部件形成为环状，具有大于被加工物的外径与小于被加工物的内径，并按压被加工物的外周区域；以及锥状的下垂部，其由弹性部件形成为环状，配设在该按压部的外周侧面，从该按压部朝向下方延伸，随着朝向下方而朝向径向外侧扩展并且厚度变薄，该吸附垫能够在突出位置与收纳位置之间移动，所述突出位置是该吸附面比该按压部向下方突出的位置，所述收纳位置是该吸附面不比该按压部向下方突出的位置。