发明名称 元器件内置基板的制造方法及元器件内置基板
摘要 一种元器件内置基板(20)的制造方法中,在形成外侧金属层(14)后,形成从外侧金属层(14)起贯通第1绝缘层(5)及第2绝缘层(11)并到达IC元器件(4)第2端子(4b)的导通孔(16)。
申请公布号 CN105210462A 申请公布日期 2015.12.30
申请号 CN201380076622.6 申请日期 2013.05.14
申请人 名幸电子有限公司 发明人 户田光昭;松本徹;村田圣子
分类号 H05K3/46(2006.01)I 主分类号 H05K3/46(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 干欣颖
主权项 一种元器件内置基板的制造方法,该元器件内置基板的制造方法所制造出的元器件内置基板内置有IC元器件,所述IC元器件在第1表面侧具备第1端子,在具有比所述第1表面侧要脆弱的结构的第2表面侧具备第2端子,该元器件内置基板的制造方法的特征在于,具备以下工序:准备工序,该准备工序准备在表面上形成有金属膜的支承板;搭载工序,该搭载工序经由粘合层在所述金属膜的表面上粘合所述第1端子,并在所述粘合层的相反侧配置所述第2端子以搭载IC元器件;第1绝缘层形成工序,该第1绝缘层形成工序以覆盖所述金属膜及所述IC元器件的方式层叠绝缘树脂材料,并形成埋设所述IC元器件的第1绝缘层;内侧金属层形成工序,该内侧金属层形成工序在所述第1绝缘层的表面上形成内侧金属层;第1端子用布线图案形成工序,该第1端子用布线图案形成工序将所述第1端子与所述金属膜电连接,形成第1端子用布线图案;第2绝缘层形成工序,该第2绝缘层形成工序以覆盖所述内侧金属层的方式层叠绝缘树脂材料,形成第2绝缘层;外侧金属层形成工序,该外侧金属层形成工序在所述第2绝缘层的表面上形成外侧金属层;以及导通孔形成工序,该导通孔形成工序形成从所述外侧金属层贯通所述第1绝缘层及第2绝缘层并到达所述第2端子的通孔,在所述通孔内填充导电体,形成将所述外侧金属层和所述第2端子电连接的导通孔。
地址 日本神奈川县