涂覆和固化装置及方法

摘要

公开了包括流涂和辊涂的涂覆装置，其可用于对衬底例如玻璃、太阳能面板、窗或电子显示器的一部分涂覆均匀的溶胶凝胶涂层。本发明还公开了用于制备衬底、流涂和辊涂的方法。最后公开了用于利用高温气刀对沉淀到玻璃衬底的表面上的溶胶凝胶涂层进行表皮固化的系统和方法。

主权项

一种涂覆和固化装置，包括：组合式辊涂和固化设备的传送器系统，其中所述组合式辊涂和固化设备包括至少一个辊涂设备和至少一个固化设备，并且其中所述传送器系统适合于运输基本平整的衬底穿过所述组合式辊涂和固化设备；处理器，其控制所述至少一个辊涂设备的工艺参数；和所述至少一个固化设备的气刀，其中当所述平整衬底被运输穿过所述至少一个固化设备时，所述气刀适合于将被加热的空气引导至所述平整衬底的一部分上，其中所述至少一个辊涂设备适合于对所述基本平整的衬底涂覆溶胶凝胶涂料。