一种真空阀门系统

摘要

本实用新型公开了一种真空阀门系统，包括阀门框架、阀门主体和动力缸；阀门主体包括第一阀片和至少一个磁铁对，磁铁对中的第一磁铁为电磁铁，第二磁铁为电磁铁或永磁铁；动力缸与阀门主体固定连接，用于带动阀门主体做上下运动；第一磁铁和第二磁铁相对设置，电磁铁包括铁芯、电磁线圈和驱动电路，驱动电路与电磁线圈连接，用于通过改变电流方向来改变磁铁对中的一个电磁铁的磁极方向；第一阀片与第一磁铁或第二磁铁固定连接，用于封闭溅射室开口。该系统在工作过程中，机械摩擦与撞击少，可减少相关部件的磨损，保证真空阀门系统的可靠性；且整个真空阀门系统更加轻薄，可提高维护效率，进而保证整个产线的生产效率。

主权项

一种真空阀门系统，位于传送室和溅射室之间，其特征在于，包括阀门框架、阀门主体和动力缸；所述阀门主体包括第一阀片和至少一个磁铁对；所述至少一个磁铁对中的第一磁铁为电磁铁，第二磁铁为电磁铁或永磁铁；所述动力缸与所述阀门主体固定连接，用于带动所述阀门主体做上下运动；所述至少一个磁铁对中的第一磁铁和第二磁铁相对设置，所述电磁铁包括铁芯、电磁线圈和驱动电路，所述驱动电路与所述电磁线圈连接，用于通过改变电流方向来改变所述至少一个磁铁对中的一个电磁铁的磁极方向；所述阀门框架包括传送室侧阀门框架和溅射室侧阀门框架；所述传送室侧阀门框架固定于传送室开口处，所述溅射室侧阀门框架固定于溅射室开口处，所述传送室开口与所述传送室相通，所述溅射室开口与所述溅射室相通；所述第一阀片与所述至少一个磁铁对中的第一磁铁或第二磁铁固定连接，用于封闭所述溅射室开口。