蒸镀机用晶圆固定装置

摘要

本实用新型公开了一种蒸镀机用晶圆固定装置，其通过晶圆环将晶圆固定在支架上，晶圆环的内圈形成供放置晶圆的环形凹台，晶圆环外圈上间隔定位设有若干个能够绕其固定点转动的弹性固定部件，该弹性固定部件上的压件弹性抵压式作用于晶圆表面的圆周边缘以使晶圆相对环形凹台固定；该固定装置以晶圆边缘固定方式代替中间固定方式，可省去晶圆后方的金属盖板，使整个固定装置简洁轻便，安装无需锁紧螺母，不仅省时省力且减少了清洗的配件；其采用多点固定方式，增加了晶圆的稳定性，该装置不仅能满足晶面晶背蒸镀时晶圆固定的要求，且大大简化了晶圆安装流程，提高了工作效率。

主权项

一种蒸镀机用晶圆固定装置，包括一呈半球状的支架(5)，该支架(5)上间隔开设有若干个通孔(6)，其特征在于：每个通孔上固设有一晶圆环(7)，该晶圆环的内圈形成供放置晶圆的环形凹台(701)，且晶圆环外圈(702)上间隔定位设有若干个能够绕其固定点转动的弹性固定部件(8)，该弹性固定部件上形成有压件(801)，所述压件弹性抵压式作用于晶圆表面的圆周边缘以使晶圆相对环形凹台固定。