| 发明名称 | 双重隔膜式压力传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种双重隔膜式压力传感器，以将由温度变化引起的内压的上升控制在最小限度。该双重隔膜式压力传感器具备以下构成：压力传感单元(4)，搭载于具有凹部的金属容器(21)的底部(21b)；金属隔膜(23)，与上述金属容器(21)凹部的开口部(21a)气密接合；压力传导介质(24)，充满由该金属隔膜(23)和上述容器(21)的凹部形成的空间；金属端子(26)，以与上述容器(21)电绝缘且气密的状态贯穿上述容器(21)的底部(21b)；向外部输出对由上述半导体压力传感单元(4)检测到的外部压力进行了变换而得的电信号。 | ||
| 申请公布号 | CN105203249A | 申请公布日期 | 2015.12.30 |
| 申请号 | CN201510236167.2 | 申请日期 | 2015.05.11 |
| 申请人 | 富士电机株式会社 | 发明人 | 芦野仁泰 |
| 分类号 | G01L7/08(2006.01)I;G01L19/04(2006.01)I | 主分类号 | G01L7/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 王颖;金玉兰 |
| 主权项 | 一种双重隔膜式压力传感器，其特征在于，具备：压力传感单元，搭载于具有凹部的金属容器的底部；金属隔膜，与所述容器凹部的开口部气密接合；压力传导介质，充满由该金属隔膜和所述容器的凹部形成的空间；和金属端子，以与所述容器电绝缘且气密的状态贯穿所述容器的底部。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||