薄膜晶体管阵列基板及其制作方法、液晶显示装置

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板、其制作方法及使用该基板的液晶显示装置。基板的第一绝缘保护层形成在基板上并覆盖第一金属层；半导体层形成在第一绝缘保护层上并位于第一金属层上方；第二金属层形成在第一绝缘保护层上，包括源极、漏极和数据线；第二绝缘保护层形成在第一绝缘保护层上，第二绝缘保护层在对应源极和漏极的位置上具有第一通孔，第二绝缘保护层覆盖第一通孔外的第二金属层；第一电极形成在第二绝缘保护层上并覆盖第一通孔内的源极和漏极；第三绝缘保护层形成在第一电极上并同时覆盖第二绝缘保护层、第一电极、源极和漏极之间露出的半导体层；第二电极形成在第三绝缘保护层上。本发明可以提高液晶显示装置的开口率和穿透率。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括：基板；第一金属层，形成在所述基板上；第一绝缘保护层，形成在所述基板上并覆盖所述第一金属层；半导体层，形成在所述第一绝缘保护层上并位于所述第一金属层上方；第二金属层，形成在所述第一绝缘保护层上，包括源极、漏极和数据线，所述源极和所述漏极彼此分隔并分别与所述半导体层接触，部分的所述半导体层从所述源极和所述漏极之间露出；第二绝缘保护层，形成在所述第一绝缘保护层上，所述第二绝缘保护层在对应所述源极和所述漏极的位置上具有第一通孔，所述第一通孔内露出所述源极、所述漏极、所述源极和所述漏极之间的所述半导体层，所述第二绝缘保护层覆盖所述第一通孔外的所述第二金属层；第一电极，形成在所述第二绝缘保护层上并覆盖所述第一通孔内的所述源极和所述漏极；第三绝缘保护层，形成在所述第一电极上并同时覆盖所述第二绝缘保护层、所述第一电极、所述源极和所述漏极之间露出的所述半导体层；以及第二电极，形成在所述第三绝缘保护层上。