一种压电蠕动微泵

摘要

一种压电蠕动微泵，包括基体和压电执行器，基体上开设流体通道，流体通道的数量为两个，一个流体通道作为输送路径的起点，另一个流体通道作为输送路径的终点；压电执行器主要由压电层、上电极、下电极和弹性层组成，下电极完全覆盖压电层，上电极、压电层、下电极和弹性层依次从上向下设置，弹性层的外框部与基体密封固定，弹性层的外框部之内的区域为泵腔部，上电极、下电极和压电层位于泵腔部的区域内；上电极由多个分离电极模块组成，分离电极模块沿输送路径等距离排列。本发明具有结构简单，流体能够双向流动的优点。

主权项

一种压电蠕动微泵，包括基体和压电执行器，基体上开设流体通道，其特征在于：流体通道的数量为两个，一个流体通道作为输送路径的起点，另一个流体通道作为输送路径的终点；压电执行器主要由压电层、上电极、下电极和弹性层组成，下电极完全覆盖压电层，上电极、压电层、下电极和弹性层依次从上向下设置，弹性层的外框部与基体密封固定，弹性层的外框部之内的区域为泵腔部；上电极由多个分离电极模块组成，第一个分离电极模块和最后一个分离电极模块分别对应一个流体通道；分离电极模块得电时，该得电的分离电极模块与基体之间形成容腔；分离电极模块失电时，该失电的分离电极模块与基体贴合；前后相邻的分离电极模块形成的容腔首尾有重叠，分离电极模块从输送路径的起点向终点依次得电。