| 发明名称 | 抗蚀剂剥离剂组合物和利用其剥离抗蚀剂的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包括40至55重量％的丙酰胺化合物、35至55重量％的伯醇、和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺，由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺，其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势，并且取得显著增加的剥离能力和溶解性，因而改善了生产收益；以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105204301A | 申请公布日期 | 2015.12.30 |
| 申请号 | CN201510345979.0 | 申请日期 | 2015.06.19 |
| 申请人 | 东友精细化工有限公司 | 发明人 | 李喻珍;金圣植;房淳洪 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鼎宏元正知识产权代理事务所(普通合伙) 11458 | 代理人 | 李波;武媛 |
| 主权项 | 一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包含：40至55重量％的丙酰胺化合物；35至55重量％的伯醇；和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道 | ||