高表面电阻率静电吸盘

摘要

根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方10¹¹欧姆之一表面电阻率。

主权项

一种制造一静电吸盘的方法，所述方法包含在所述静电吸盘中形成一电荷控制层，所述电荷控制层包含含硅氧化物、含硅碳化物、含非化学计量硅的氧化物、含非化学计量硅的碳化物、碳及碳的氮化物化合物中的至少一者，且包含自约1×10¹²欧姆/平方至约1×10¹⁶欧姆/平方的一表面电阻率；其中所述方法可包含在所述静电吸盘的使用中减少晶圆黏附的频率，而不修改所述静电吸盘的机能，包含不修改所述静电吸盘的电源供应器、电极结构、介电层厚度、机械性质及夹持力中的至少一者。