一种板式PECVD设备中的U型槽

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD设备中的U型槽，包括U型槽、加固钢板和3组以上的紧固连接装置；在U型槽顶部的两端边缘向上弯曲形成沟槽A，在加固钢板的背面边部开有沟槽B；每组紧固连接装置是由两个一端带紧固钩、另一端有内螺纹或外螺纹的长条管和有外螺纹或内螺纹的长螺母组成，两个长条管螺纹固定在长螺母上；每组紧固连接装置的两个紧固钩分别钩挂在沟槽A和沟槽B内，由长螺母锁紧紧固。本实用新型防止了由于U型槽顶部翘起导致的进气孔的位置偏移，避免因此造成的特气管的特气通入孔与U型槽顶部两端的进气孔发生偏移，保证了特气实际参加反应的量的稳定性，使镀膜工艺的更加稳定。

主权项

一种板式PECVD设备中的U型槽，其特征在于：包括U型槽、U型槽下方的加固钢板和3组以上的紧固连接装置；在U型槽顶部的两端边缘向上弯曲形成沟槽A，在加固钢板的背面边部与U型槽顶部的沟槽A相对应的位置开有沟槽B；每组紧固连接装置是由两个一端带紧固钩、另一端有内螺纹或外螺纹的长条管和有外螺纹或内螺纹的长螺母组成，两个长条管螺纹固定在长螺母上；每组紧固连接装置的两个紧固钩分别钩挂在沟槽A和沟槽B内，由长螺母锁紧紧固。