MEMS声换能器器件和电子装置

摘要

一种MEMS声换能器器件，具有电容微机电感应结构以及偏置电路。偏置电路包括在输出端子上供应升高电压的升压电路，以及被设置在输出端子与感应结构的端子之间的、定义与绝缘电路元件相关联的第一高阻抗节点的高阻抗绝缘电路元件。偏置电路具有：预充电级，该预充电级在其第一输出上生成作为所述升高电压的函数并与该升高电压不同的第一预充电压；以及第一开关元件，其被设置在第一输出与第一高阻抗节点之间。第一开关元件可操作用于在偏置电路的启动阶段期间将第一高阻抗节点可选择地连接至第一输出，以用于将第一高阻抗节点偏置到第一预充电压。

主权项

一种MEMS声换能器器件，其特征在于，所述MEMS声换能器器件包括：具有端子的电容微机电感应结构；以及偏置电路，所述偏置电路包括：升压电路，所述升压电路具有输出端子并且被配置为在所述输出端子上供应升高电压，绝缘电路元件，所述绝缘电路元件具有高阻抗并被设置在所述输出端子与所述感应结构的所述端子之间，所述感应结构的所述端子是与所述绝缘电路元件相关联的第一高阻抗节点，预充电级，所述预充电级具有第一输出并且被配置为在所述第一输出上生成作为所述升高电压的函数并与所述升高电压不同的第一预充电压；以及第一开关元件，所述第一开关元件被设置在所述预充电级的所述第一输出与所述第一高阻抗节点之间，所述第一开关元件被配置为在所述偏置电路的启动阶段期间将所述第一高阻抗节点可选择地耦接至所述第一输出，并且由此将所述第一高阻抗节点偏置到所述第一预充电压。