| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung, bei dem sich durch den Abtrag eine Abtragsvertiefung in dem Material ausbildet, deren Flächen, auch als Flanken bezeichnet, beugend und brechend auf die eingebrachte Laserstrahlung wirken und dadurch Strahlungsanteile dieser Laserstrahlung Interferenz-Beugungsmuster innerhalb der Abtragsvertiefung erzeugen, die, sobald diese Strahlungsanteile wieder auf die Flächen der Abtragsvertiefung treffen und in das Materialvolumen eindringen, dort einen entlang der Flächen räumlich veränderlichen Abtrag bewirken und als Folge die Oberfläche aufrauen und Risse in dem Materialvolumen induzieren. Als Laserstrahlung für den Abtrag wird eine Wellenlängenmischung aus mindestens zwei Wellenlängen eingesetzt, die so gewählt werden, dass sich Interferenz-Beugungsmuster aufgrund der Beugung und Brechung sowohl entlang der Flächen der Abtragsvertiefung als auch im Materialvolumen derart einstellen, dass räumliche Positionen von Interferenz-Maxima der einen Wellenlänge(n) in Interferenz-Minima der anderen Wellenlänge(n) fallen.</p> |
