一种内置薄膜式静压导轨

摘要

本实用新型涉及精密与超精密加工技术领域，公开了一种内置薄膜式静压导轨，包括进油装置、运动导轨、弹性阻流结构和固定导轨，所述运动导轨由底部向上开设有油腔，所述进油装置与所述油腔顶部连通，所述弹性阻流结构一端与油腔固定连接，另一端为自由端，所述固定导轨位于所述运动导轨的油腔下方，油依次穿过所述自由端与油腔之间的间隙、所述自由端与固定导轨之间的间隙，并在固定导轨和运动导轨之间形成油膜层。本实用新型弹性阻流结构直接安装在内置薄膜式静压导轨内部，可根据负载的变化快速而准确地做出反应而恢复原有的油膜层厚度。

主权项

一种内置薄膜式静压导轨，其特征在于，包括进油装置、运动导轨、弹性阻流结构和固定导轨，所述运动导轨由底部向上开设有油腔，所述进油装置与所述油腔顶部连通，所述弹性阻流结构一端与油腔固定连接，另一端为自由端，所述固定导轨位于所述运动导轨下方，油依次穿过所述自由端与油腔之间的间隙、所述自由端与固定导轨之间的间隙，并在固定导轨和运动导轨之间形成油膜层。