发明名称 惰性气体纯化器
摘要 本实用新型涉及一种惰性气体纯化器,包括纯化器本体、加热装置,纯化器本体顶部设有气体输入管道,纯化器本体底部设有气体输出管道,所述加热装置为陶瓷加热圈,陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘,陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉,绝热棉外部设置有纯化罐外壳。本实用新型采用陶瓷加热圈内的较高绝缘耐火程度的陶瓷内穿上电阻丝,具有安全性高,加热均匀,高温稳定等特点,陶瓷层具有温度不外泄,工作安全,可节省电能的优点。另外,绝热棉进一步起到绝热作用,绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全,防止高温或者触电事故。
申请公布号 CN204917973U 申请公布日期 2015.12.30
申请号 CN201520634101.4 申请日期 2015.08.21
申请人 先普半导体技术(上海)有限公司 发明人 江晓松
分类号 C01B23/00(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I 主分类号 C01B23/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 惰性气体纯化器,包括纯化器本体、加热装置,纯化器本体顶部设有气体输入管道,纯化器本体底部设有气体输出管道,其特征在于,所述加热装置为陶瓷加热圈,陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘,陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉,绝热棉外部设置有纯化罐外壳。
地址 201100 上海市闵行区金都路4299号6号楼6221室