一种芯片洗脱装置

摘要

本实用新型公开了一种芯片洗脱装置，该装置能在芯片的待洗脱部位上形成一个封闭空间，洗脱液通过装置上的加液孔注入该封闭空间中。该芯片洗脱装置可以包括底座、上盖、固定装置和加液孔。洗脱芯片时，通过加液孔将洗脱液加至芯片待洗脱部位，通过盖板和压扣将洗脱部位固定并封闭，从而可避免洗脱液的挥发，减少洗脱液用量，进而保护操作人员的安全。

主权项

一种芯片洗脱装置，其特征在于所述装置能在芯片的待洗脱部位上形成一个封闭空间，洗脱液通过设置在所述装置上的加液孔注入所述封闭空间中。