一种具有复合同轴结构的半导体芯片测试针架

摘要

本实用新型公开了一种具有复合同轴结构的半导体芯片测试针架，包括针架主体、一个或者多个信号传输探针、探针托板、下绝缘电抗控制圈，其中所述针架主体和所述探针托板均为金属材质，并在该金属材质的表面设置有绝缘层；所述针架主体、所述探针托板均设置有至少一个用于固定所述信号传输探针的信号针穴，所述的下绝缘电抗控制圈固化在探针托板的下部，每一所述信号传输探针上设有一个或者多个绝缘定位圈。本实用新型使信号传输探针的芯片接触点及测试线路板接触点之间保持同轴结构，以改善芯片测试针架在测试过程中的电性能的损耗从而保证超高频的芯片的测试。

主权项

一种具有复合同轴结构的半导体芯片测试针架，其特征在于：包括针架主体、一个或者多个信号传输探针、探针托板、下绝缘电抗控制圈，其中所述针架主体和所述探针托板均为金属材质，并在该金属材质的表面设置有绝缘层；所述针架主体、所述探针托板均设置有至少一个用于固定所述信号传输探针的信号针穴，所述的下绝缘电抗控制圈固化在探针托板的下部，每一所述信号传输探针上设有一个或者多个绝缘定位圈。