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发明名称
SUBSTRATE INSPECTION
摘要
Various embodiments for substrate inspection are provided.
申请公布号
EP2850385(A4)
申请公布日期
2015.12.30
申请号
EP20130790078
申请日期
2013.05.15
申请人
KLA-TENCOR CORPORATION
发明人
RAMACHANDRAN, MAHENDRA PRABHU;MEEKS, STEVEN W.;SAPPEY, ROMAIN
分类号
G01B11/25;G01N21/47;G01N21/95;G01N21/956;G01N21/958
主分类号
G01B11/25
代理机构
代理人
主权项
地址
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