发明名称 |
磁性隧道结单元和制备磁性隧道结单元的方法 |
摘要 |
本申请公开了一种环形磁性隧道结单元和制备环形磁性隧道结单元的方法。上述环形磁性隧道结单元包括下电极、环形磁性隧道结和上电极,环形磁性隧道结设置在下电极的上方,上电极设置在环形磁性隧道结的上方,其中该环形磁性隧道结单元还包括设置在上电极与环形磁性隧道结之间的导电连接层。上述的环形磁性隧道结单元中,在环形磁性隧道结与上电极之间增设了一层导电连接层。在上电极的形成过程中,这层导电连接层能够使上电极的对准过程中具有相对较大的参照尺寸。而且,即使上电极在对准过程中发生轻微偏离,这层导电连接层也能够在上电极与环形磁性隧道结上表面之间形成导电通路,从而防止二者之间出现开路的情况。 |
申请公布号 |
CN105206741A |
申请公布日期 |
2015.12.30 |
申请号 |
CN201410283814.0 |
申请日期 |
2014.06.23 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
张宏 |
分类号 |
H01L43/08(2006.01)I;H01L43/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L43/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
吴贵明;张永明 |
主权项 |
一种环形磁性隧道结单元,包括下电极、上电极及位于所述下电极和所述上电极之间的环形磁性隧道结,其特征在于,所述环形磁性隧道结单元还包括设置在所述上电极与所述环形磁性隧道结之间的导电连接层。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |