磁相取向的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种铁磁相取向生长的钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜材料及制备方法，该复相薄膜中钛酸钡晶相随机生长，镍锌铁氧体晶相取向生长且两相无序分布，该种薄膜是采用射频磁控溅射结合热处理的方法制得，该种材料具有电、磁双渗流阈值、同时具有低介电损耗、高介电常数和高磁导率、具有较高的两相间应力传递效果和耦合效果，本发明多铁复相薄膜材料的制备工艺简单，成本低廉，可用于多态存储器和异质读写电容器，并有望在电磁器件领域得到广泛应用。

主权项

一种钛酸钡/镍锌铁氧体纳米晶复相薄膜，其特征在于，该薄膜化学式为(1‑x)BaTiO₃/xNi_0.5Zn_0.5Fe₂O₄，其中0＜x＜1，由钛酸钡晶相和镍锌铁氧体晶相组成，两相中晶粒呈无序分布，钛酸钡相无特定取向，镍锌铁氧体相沿(100)取向生长，两相的晶粒尺寸均小于20nm。