发明名称 |
大面积微纳图形化的装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种大面积微纳图形化的装置,该装置机架、工作台、承片台、衬底、压印材料、软模具、滚轮、紫外光光源、压印机构、真空管路、压力管路。工作台固定在机架上;承片台固定于工作台的移动台面上;承片台正上方真空吸附着衬底;衬底上均匀涂铺液态紫外光固化型压印材料;软模具通过真空吸附的方式附着在滚轮外表面。通过滚轮、软模具、工作台和气路系统的密切配合,完成大面积压印和脱模操作。实现在超大尺寸、非平整刚性衬底、或易碎衬底上高效、低成本规模化制造大面积微纳米结构,解决了米级尺度超大尺寸刚性衬底的大面积微纳米图形化难题。具有结构和工艺简单、效率高、成本低、压印图形精度高和缺陷率低的特点。 |
申请公布号 |
CN204925614U |
申请公布日期 |
2015.12.30 |
申请号 |
CN201520784255.1 |
申请日期 |
2015.10.10 |
申请人 |
兰红波 |
发明人 |
兰馨然;兰红波 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
济南圣达知识产权代理有限公司 37221 |
代理人 |
张勇 |
主权项 |
一种大面积微纳图形化的装置,其特征是,它包括:机架、工作台、承片台、衬底、压印材料、软模具、滚轮、紫外光光源、压印机构、真空管路和压力管路;其中,工作台固定在机架上;所述承片台固定于工作台的移动台面上;所述承片台正上方真空吸附着衬底;所述衬底上均匀涂铺液态紫外光固化型压印材料;软模具通过真空吸附的方式附着在滚轮外表面;滚轮固定于压印机构上,且滚轮位于衬底上方;紫外光光源固定于压印机构上,并置于滚轮完成压印结构的一侧,且紫外光光源位于衬底正上方;所述真空管路和压力管路均与承片台的进气口连通,真空管路和压力管路均与滚轮的进气口连通;所述滚轮的外圆柱面上均匀布设若干个吸附槽,所述滚轮的侧面上均匀布设若干个进气孔,所述吸附槽底至滚轮内部设有若干个径向孔,径向孔将进气孔和吸附槽相连通;所述压印机构包括驱动装置、导向杆和支架,驱动装置驱动支架沿Z轴上下运动;所述支架上连接滚轮固定连接架和紫外光光源连接架;所述导向杆置于支架的四个角上,导向杆与支架采用直线轴承连接。 |
地址 |
266033 山东省青岛市安达路16号1号楼2单元101 |