一种托卡马克壁材料侵蚀与再沉积的测量装置

摘要

本发明涉及核聚变与光学诊断技术领域，提供一种托卡马克壁材料侵蚀与再沉积的测量装置，包括：激光入射单元、干涉单元、相移单元、图像采集单元以及时序控制单元；所述激光入射单元包括第一激光器、第二激光器、透反镜、第一孔阑、空间滤波器和凸透镜；所述干涉单元包括依次设置的分束镜和反射镜；所述相移单元包括依次设置的压电陶瓷和压电陶瓷控制箱；所述图像采集单元包括工业相机；所述时序控制单元包括数据采集控制箱。本发明能够实现对托卡马克壁材料侵蚀与再沉积的在线、无损、高精度、高灵敏度、三维及定量监测。

主权项

一种托卡马克壁材料侵蚀与再沉积的测量装置，其特征在于，包括：激光入射单元、干涉单元、相移单元、图像采集单元以及时序控制单元；所述激光入射单元包括第一激光器、第二激光器、透反镜、第一孔阑、空间滤波器和凸透镜；所述第一激光器的出射光路上依次设置所述透反镜、所述第一孔阑、所述空间滤波器和凸透镜；所述第二激光器设置在透反镜远离第一激光器的一侧；所述第一激光器和第二激光器出射光的夹角为90度；所述干涉单元包括依次设置的分束镜和反射镜；所述分束镜设置在所述凸透镜远离空间滤波器的一侧；所述分束镜的一侧面与测试样品相对，且分束镜的延长线与测试样品在水平方向具有45度夹角；所述相移单元包括依次设置的压电陶瓷和压电陶瓷控制箱，所述压电陶瓷和反射镜贴覆在一起，所述压电陶瓷和压电陶瓷控制箱电连接；所述图像采集单元包括工业相机，所述工业相机设置在分束镜远离测试样品的一侧；所述时序控制单元包括数据采集控制箱，所述数据采集控制箱分别与第一激光器、第二激光器、压电陶瓷控制箱和工业相机电连接。