静电放电保护器件

摘要

本公开提供了静电放电保护器件。一种静电放电保护器件包括：基板，具有在第一方向上延伸的有源鳍；多个栅结构，在关于第一方向成给定角度的第二方向上延伸并部分地覆盖有源鳍；外延层，在有源鳍的位于栅结构之间的部分上；杂质区，在外延层下面；以及接触插塞，接触外延层。在第一方向上，杂质区的部分比杂质区的边缘部分厚。接触插塞位于杂质区的部分之上。

主权项

一种静电放电(ESD)保护器件，包括：基板，包括在第一方向上延伸的有源鳍；多个栅结构，每个所述栅结构在与所述第一方向成一角度的第二方向上延伸并分别覆盖所述有源鳍的部分；外延层，在所述有源鳍的位于所述多个栅结构中的两个相邻的栅结构之间的部分上；杂质区，在所述外延层下面，其中所述杂质区在所述第一方向上的中央部分比所述杂质区的边缘部分厚，所述杂质区的边缘部分在所述第一方向上位于所述中央部分的侧部；以及接触插塞，接触所述外延层的顶部，所述接触插塞位于所述杂质区的所述中央部分之上。