| 发明名称 | 一种材料分压放气率测试器 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种材料分压放气率测试器，包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔；真空泵组通过插板阀与测量室连接，限流小孔的前端通过角阀与测量室连接，后端直接与真空泵组连接；通过四极质谱仪和分离规，分别测量测量室为空和包含样品时的不同种气体的本底分压强和本底氮气当量总压强，进而得到样品氮气当量的分压放气率。本实用新型只需一个四极质谱计就能完成材料分压放气率的实时、连续测量，减小测量过程中由于测量腔内随真空材料放气产生的压升所带来的气体二次吸附机会，并能方便不同成分气体的横向对比。 | ||
| 申请公布号 | CN204924843U | 申请公布日期 | 2015.12.30 |
| 申请号 | CN201520527517.6 | 申请日期 | 2015.07.20 |
| 申请人 | 中国科学院光电研究院 | 发明人 | 张罗莎;王魁波;吴晓斌;罗艳;陈进新;谢婉露;王宇 |
| 分类号 | G01N7/14(2006.01)I | 主分类号 | G01N7/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种材料分压放气率测试器，其特征在于，包括分离规(1)、测量室(2)、角阀(4)、限流小孔(5)、真空泵组、插板阀(8)和四极质谱计(9)，其中：所述测量室(2)用于放置样品(3)；所述真空泵组通过所述插板阀(8)与所述测量室(2)连接，其用于对所述测量室(2)抽真空；所述限流小孔(5)的前端通过角阀(4)与所述测量室(2)连接，后端直接与所述真空泵组连接，其中，所述真空泵组(6)的抽速大于50倍的所述限流小孔(5)的流导；所述四极质谱仪(9)和所述分离规(1)分别与所述测量室(2)直接连接。 | ||
| 地址 | 100094 北京市海淀区邓庄南路9号 | ||