一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置

摘要

本实用新型属于工业检测设备的设计与制造技术领域，具体是涉及一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置，包括阀门，真空计，压力变送器，检漏仪，氦气源及氮气源，通过阀门旋片泵与真空计相连接；转接口上设置着检漏工装，检漏工装与被检件相连接；压力变送器通过阀门分别于氦气源及氮气源并联在一起，同时压力变送器通过转接口与被检件相连；检漏仪通过阀门与被检件相连，通过阀门真空计与检漏仪及被检件并联在一起。本实验装置可广泛的应用于喷吹法、氦罩法、充压真空法、累积法、背压法、预充氦法、吸枪法等多种检漏方法抽真空和充入氦源使用。

主权项

一种用于氦质谱检漏的加压‑抽真空实验装置，包括阀门（2），真空计（3），压力变送器（4），检漏仪（8），氦气源（9）及氮气源（10），其特征在于：通过阀门（2）旋片泵（1）与真空计（3）相连接；转接口（5）上设置着检漏工装（6），检漏工装（6）与被检件（7）相连接；压力变送器（4）通过阀门（2）分别于氦气源（9）及氮气源（10）并联在一起，同时压力变送器（4）通过转接口（5）与被检件（7）相连；检漏仪（8）通过阀门（2）与被检件（7）相连，通过阀门（2）真空计（3）与检漏仪（8）及被检件（7）并联在一起。