具有低的固体物含量的化学机械抛光组合物及与其相关的方法

摘要

公开抛光组合物和抛光基材的方法。所述组合物具有低负载量(例如，最高达0.1重量％)的研磨剂颗粒。所述抛光组合物还含有水和至少一种阴离子型表面活性剂。在一些实施方式中，所述研磨剂颗粒为α氧化铝颗粒(例如，涂覆有有机聚合物)。所述抛光组合物可用于例如抛光弱强度的基材例如有机聚合物。在一些实施方式中，在所述组合物中包括用于氧化有机聚合物和硅中的至少一种的试剂。

主权项

抛光组合物，其包含：(a)0.001重量％至0.1重量％的涂覆有聚合物的研磨剂颗粒，(b)至少一种阴离子型表面活性剂，和(c)水，其中所述组合物具有1.5至5的pH。