光纤激光加工氧化铝陶瓷的装置及其方法

摘要

本发明涉及光纤激光加工氧化铝陶瓷的装置及方法，包含沿光路依次布置的激光器、准直镜、旋光系统和聚焦镜，激光器发出激光，经过准直镜后由发散的光转为平行光束；准直后的光束经旋光系统进行整形，旋光系统将平行光光束形成能量均匀分布的圆形光圈；整形后光束进入聚焦镜实现激光汇聚，由辅助定位影像系统配合控制激光打孔位置，进行高精度打孔并对打孔过程进行实时监控。实现陶瓷钻孔、划线和切割功能，激光单点冲出不同微孔(D≤1mm)，具有光斑小、效率高和成本低等优点。

主权项

光纤激光加工氧化铝陶瓷的方法，其加工装置包含沿光路依次布置的激光器、准直镜、角度调整架、旋光系统和聚焦镜，激光器是1064nm红外光纤激光器，旋光系统安装于角度调整架之下，聚焦镜输出端正对于用于放置氧化铝陶瓷的三维平台，所述三维平台上方设有吸收剂涂覆装置，其特征在于：激光器发出激光，经过准直镜后形成平行光束；然后光束经旋光系统进行整形，旋光系统将平行光束形成能量均匀分布的圆形光圈；整形后光束进入聚焦镜实现激光汇聚；吸收剂涂覆装置将吸收剂涂覆在氧化铝陶瓷面位置，陶瓷表面区域对激光的吸收性，使加工过程中无跳点。