发明名称 |
包含多个器件类型的集成电路管芯 |
摘要 |
本申请公开了一种包含多个器件类型的集成电路管芯,包括:多个掺杂阱,至少一些掺杂阱被二次掺杂以形成用于第一器件类型的屏蔽层,至少一些掺杂阱支持第二器件类型;阈值电压调节层,位于第一器件类型的屏蔽层上,被掺杂以提供阈值电压设置凹槽;第一沟道层,位于阈值电压调节层上;第二沟道层,位于第二器件类型的掺杂阱上;以及多个栅极堆叠体,位于第一沟道层和第二沟道层上,至少一些栅极堆叠体具有第一成分,而其他栅极堆叠体具有第二成分。采用本申请的技术方案,能够实现对在精确范围内的阈值电压设定的调整。 |
申请公布号 |
CN105206574A |
申请公布日期 |
2015.12.30 |
申请号 |
CN201510458953.7 |
申请日期 |
2011.06.21 |
申请人 |
三重富士通半导体股份有限公司 |
发明人 |
R·阿尔加瓦尼;L·希弗伦;P·拉纳德;S·E·汤普森;C·德维尔纳夫 |
分类号 |
H01L21/8234(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/8234(2006.01)I |
代理机构 |
隆天知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
石海霞;郑特强 |
主权项 |
一种包含多个器件类型的集成电路管芯,包括:多个掺杂阱,其中至少一些掺杂阱被二次掺杂以形成用于第一器件类型的屏蔽层,至少一些掺杂阱支持第二器件类型;阈值电压调节层,位于所述第一器件类型的所述屏蔽层上,被掺杂以提供阈值电压设置凹槽;第一沟道层,位于所述第一器件类型的阈值电压调节层上;第二沟道层,位于第二器件类型的掺杂阱上;以及多个栅极堆叠体,位于所述第一沟道层和所述第二沟道层上,其中至少一些栅极堆叠体具有第一成分,而其他栅极堆叠体具有第二成分。 |
地址 |
日本三重县 |