具有背保护层的柔性太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池领域，具体公开了一种具有背保护层的柔性太阳能电池及其制备方法。本发明的具有背保护层的柔性太阳能电池，在柔性基底的太阳能接收侧依次形成有扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，在柔性基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，背保护层为单层，扩散阻挡层为三层或三层以上结构。本发明的具有背保护层的太阳能电池，背保护层能有效避免高温腐蚀性气氛工艺过程中对基底的损害，同时，扩散阻挡层能有效阻挡基底杂质元素进入吸收层，能够显著增加扩散阻挡层与基底、第一电极层的结合力。

主权项

具有背保护层的柔性太阳能电池，所述柔性太阳能电池的柔性基底的太阳能接收侧依次形成有扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，其特征在于：所述柔性基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，所述背保护层为单层，所述背保护层任选由以下组制成：a组：铝、钼、钛、镍、铜、锆、铌、铬、钌、铑、钯、钽、钨、铱、锇、铂、金或银，或它们的合金；或b组：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或c组：氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆；所述背保护层厚度为10nm～3000nm；所述扩散阻挡层为三层或三层以上结构，所述扩散阻挡层的每一层任选由以下组制成：A组：铝、钼、钛、镍、铜、锆、铌、铬、钌、铑、钯、钽、钨、铱、锇、铂、金或银，或它们的合金；或B组：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或C组：氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆；所述扩散阻挡层的厚度为10nm～3000nm。